ウェハ静電チャックとは、ESC、E-Chuckとも呼ばれ、静電吸着の原理を利用してウェーハを保持・固定する治具の一種です。主に真空やプラズマ環境で使用され、超清浄な薄膜（シリコンウェハーなど）を吸着し、吸着物の平坦度を保ち、プロセス中の変形を抑制し、同時に吸着物の温度を調節することができます。

市場概況

ウェハ静電チャックは半導体製造において重要な部品であり、精度と歩留まりを確保する上で重要な役割を果たしています。近年、主に半導体産業の急速な発展と技術の進歩により、世界ウエハ静電チャック市場は着実に成長しています。当社の調査データによると、世界のウエハ静電チャック市場規模は2024年に2億6800万米ドルになると推定され、2023年から5.56%の成長を示すと推定される。

市場展望

今後、デジタル化、IoT、AIなどの技術のさらなる普及に伴い、様々な分野での半導体デバイス需要の増加が、ウエハ静電チャック市場の継続的な成長の原動力となるだろう。

開発動向から見ると、自動化とインテリジェンスのレベルアップ、より高度な材料と設計アプリケーション、環境保護とエネルギー効率が重要な検討事項となっている。

世界ウエハ静電チャック市場規模は、2029年までに3億5,300万ドルまで増加し続けると予測され、2024年から2029年までの複合年間成長率（CAGR）は5.66％と推定されます。

主要地域市場分析

地域別から見ると、世界のウエハ静電チャック市場は北米、欧州、アジア太平洋の3地域に集中し、これら3地域のウエハ静電チャック市場規模は、世界総市場規模の95％以上のシェアを占めている。

 中でもアジア太平洋地域は世界最大のウエハ静電チャック市場となり、2024年の市場シェアは66.10％に達すると予想されます。

セグメント市場分析

製品タイプから見ると、現在の世界のウェーハ静電チャック市場の主流製品タイプは、ジョンソン・ラベック（JR）型静電チャックとクーロン型静電チャックの2つである。中でもクーロン型静電チャックは高精度で安定性が高いため、市場でより支持されており、2024年の市場シェアは64.51％と推定され、市場を主導すると推測される。

応用分野別では、ウェハサイズの違いにより、ウェハ静電チャックは300mmウェハ、200mmウェハ、150mmウェハとその他の領域に分けられる。その中で、300mmウェハが最大の需要分野となり、2024年のアプリケーションシェアは54.92％と推定されます。